半導体検査装置メーカーの米KLAは4日、2億米ドルを投じるシンガポール第4工場の第1期を開所したと発表した。半導体需要の拡大に伴う検査装置需要に対応する。

　工場の総床面積は約1万8580平方メートル。清浄度の高い「クラス100」と「クラス10K」のクリーンルームを設け、振動制御機能も持たせた。ウエハー幾何学検査や光学欠陥検査、電子ビーム欠陥検査など同社製品として最も複雑で高度な機能を搭載する装置を製造する。

　第2期は間もなく着工し、2026年までに完成させる予定。総床面積を約3万9020平方メートルに拡張する。第4工場ではフル稼働時に400人を雇用する。

　KLAは1965年設立で、欧米やアジアなど19カ国に拠点を持つ。シンガポールへは96年に営業・サービス拠点を設置して進出した。2006年に工場を開所し、その後増設。現在はアジア本社を置き、約1500人を雇用している。


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